你知道精密加工有幾種分類嗎?
【摘要】:精密加工對(duì)工件原料、加工設(shè)備、東西、丈量和環(huán)境等條件都有特別的要求,需求綜合使用精密機(jī)械、精密丈量、精密伺服系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制以及其他先進(jìn)技術(shù)。超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個(gè)以上的數(shù)量級(jí),除需求選用新的加工辦法或新的加工機(jī)理之外,對(duì)工件原料,加工設(shè)備、東西、丈量和環(huán)境條件等都有特別的要求。 |
精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個(gè)以上的數(shù)量級(jí)。
精密加工對(duì)工件原料、加工設(shè)備、東西、丈量和環(huán)境等條件都有特別的要求,需求綜合使用精密機(jī)械、精密丈量、精密伺服系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制以及其他先進(jìn)技術(shù)。超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個(gè)以上的數(shù)量級(jí),除需求選用新的加工辦法或新的加工機(jī)理之外,對(duì)工件原料,加工設(shè)備、東西、丈量和環(huán)境條件等都有特別的要求。
你知道在精密加工時(shí)有分幾種加工辦法呢?咱們一起來(lái)看下吧。
精密特種加工的加工精度以納米,乃至最終以原子單位(原子晶格間隔為0.1~0.2納米)為目標(biāo)時(shí),切削加工辦法已不能適應(yīng),需求借助特種加工的辦法,即使用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等,使這些能量逾越原子間的結(jié)合能,然后去除工件外表的部分原子間的附著、結(jié)合或晶格變形,以到達(dá)超精密加工的目的。
例如超大規(guī)模集成電路的制版就是選用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑(見(jiàn)光刻)進(jìn)行曝射,使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),再用顯影劑把聚合過(guò)的或未聚合過(guò)的部分溶解掉,制成掩膜。電子束曝射制版需求選用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.02微米的超精密加工設(shè)備。
歸于這類加工的有機(jī)械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些辦法的特點(diǎn)是對(duì)外表層物質(zhì)去除或增加的量可以作極纖細(xì)的控制??墒且@得超精密的加工精度,仍有賴于精密的加工設(shè)備和精確的控制系統(tǒng),并選用超精密掩膜作中介物。
精密切削加工主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經(jīng)過(guò)精密研磨的單晶金剛石車刀進(jìn)行微量車削,切削厚度僅1.5微米左右,常用于加工有色金屬材料的球面、非球面平和面的反射鏡等高精度、外表高度光亮的零件。